馬薩諸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ -- 半導(dǎo)體行業(yè)離子注入支持解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商Axcelis Technologies, Inc.（納斯達(dá)克股票代碼：ACLS）今天宣布，公司向日本領(lǐng)先的功率設(shè)備芯片制造商發(fā)運(yùn)其Purion XE?高能和Purion M?中等電流Power Series?注入機(jī)。這些系統(tǒng)將用于大批量生產(chǎn)基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和IGBT設(shè)備，以用于汽車和其他功率管理應(yīng)用。

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)執(zhí)行副總裁Bill Bintz表示：“Purion Power系列的獨(dú)特功能，結(jié)合功率設(shè)備領(lǐng)域的密集注入特性，將賦予Axcelis獨(dú)特的條件來(lái)從這一市場(chǎng)的增長(zhǎng)中受益。這些工具集成了多項(xiàng)功能和工藝控制能力，包括該平臺(tái)為功率設(shè)備市場(chǎng)提供支持的薄晶圓處理能力。我們期待擴(kuò)大Purion平臺(tái)在日本的業(yè)務(wù)范圍，并支持我們客戶實(shí)現(xiàn)提高制造能力的目標(biāo)。”

關(guān)于Axcelis：
Axcelis（納斯達(dá)克股票代碼：ACLS）的總部位于馬薩諸塞州比弗利。40多年來(lái)，公司一直為半導(dǎo)體行業(yè)提供創(chuàng)新的高生產(chǎn)率解決方案。Axcelis致力于通過(guò)對(duì)離子注入系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造和完整的生命周期支持來(lái)開(kāi)發(fā)工藝應(yīng)用支持功能，這是IC制造工藝中最關(guān)鍵和最具價(jià)值的階段之一。如需了解更多關(guān)于Axcelis的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.axcelis.com。

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